處理多晶硅還原尾氣的系統(tǒng)和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810005888.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109985489A 公開（公告）日 2019-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN109985489A 申請(qǐng)公布日 2019-07-09
分類號(hào) B01D53/14（2006.01）I; C01B7/07（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 王朝陽(yáng); 王洪光; 畢明鋒; 李峰; 王飛; 彭述才; 馮寶軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 國(guó)電內(nèi)蒙古晶陽(yáng)能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙天月
地址 010321 內(nèi)蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗大路新區(qū)東工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了處理多晶硅還原尾氣的系統(tǒng)和方法。該系統(tǒng)包括：吸收塔，所述吸收塔具有多晶硅還原尾氣入口、四氯化硅入口、氫氣出口和含氯化氫富液出口；精餾塔，所述精餾塔具有含氯化氫富液入口、第一氯化氫混合氣出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口；第一分凝器，所述第一分凝器具有第一氯化氫混合氣入口、第二氯化氫混合氣出口和三氯氫硅出口；第二分凝器，所述第二分凝器具有第二氯化氫混合氣入口、氯化氫出口和二氯二氫硅出口。該系統(tǒng)采用四氯化硅作為吸收劑吸收氯化氫，并通過對(duì)含氯化氫富液進(jìn)行精餾，即可實(shí)現(xiàn)氯化氫、四氯化硅及高沸物的分離，極大地簡(jiǎn)化工藝流程，達(dá)到了高效、節(jié)能、減小投資的目的。