用于精密工件的表面形貌檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821558801.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN208902059U 公開(kāi)(公告)日 2019-05-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN208902059U 申請(qǐng)公布日 2019-05-24
分類號(hào) G01B11/24(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 陸慶年; 李良 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州怡信光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州怡信光電科技有限公司
地址 215129 江蘇省蘇州市新區(qū)楓橋工業(yè)園前橋路288號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種用于精密工件的表面形貌檢測(cè)裝置,包括基座、大理石平臺(tái)、工作臺(tái)、Z軸升降座、鏡頭組件和光源組件,光源組件進(jìn)一步包括套筒、反光鏡、環(huán)形光源和同軸光源,套筒上端與鏡頭組件安裝連接,環(huán)形光源設(shè)置于套筒下端,反光鏡呈45°安裝于套筒內(nèi),同軸光源垂直安裝于套筒中部,此同軸光源的光線水平射向反光鏡并經(jīng)反光鏡反射沿豎直方向向下射出,第一軸承、第二軸承和第三軸承均傾斜設(shè)置,第一軸承和第三軸承的傾斜方向與角度相同,第二軸承與第一軸承、第三軸承的傾斜方向相反,傾斜角度相同。本實(shí)用新型解決了光源在照射下方的工件時(shí),無(wú)法照射到工件中心位置的情況,提高了對(duì)工件的成像與測(cè)量精度。