一種導電薄膜連續(xù)性的測試結構及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110900691.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113644053A 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN113644053A 申請公布日 2021-11-12
分類號 H01L23/544（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L27/11502（2017.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡禺石;孫堅華 申請（專利權）人 無錫拍字節(jié)科技有限公司
代理機構 上海智晟知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 張瑞瑩;張東梅
地址 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)弘毅路8號東莊電力電子科技園金帛座502
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種導電薄膜連續(xù)性的測試結構，其包括兩個測試焊盤，以及設置于兩個測試焊盤之間的至少一道溝槽，溝槽表面設置有導電薄膜，導電薄膜與待測試區(qū)域中的導電薄膜采用相同的工藝及材料、同步沉積形成。