一種用于真空鍍膜的升華加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021454193.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213232486U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213232486U 申請公布日 2021-05-18
分類號 C23C16/448 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 渠艷良;李雷 申請（專利權(quán)）人 派珂納米科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 范圓圓
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)東富路32號4幢408室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種用于真空鍍膜的升華加熱裝置，包括升華管和升華爐，升華爐通過移動組件滑動套設(shè)在升華管外；移動組件包括第一滑軌和第二滑軌，第一滑軌和第二滑軌上均滑動安裝有滑輪；第一滑軌的長度方向與升華管一致；第二滑軌的長度方向與第一滑軌垂直，且第二滑軌與第一滑軌的滑輪固定連接；升華爐與第二滑軌的滑輪固定連接；將升華爐移開之后，可在升華爐預(yù)熱升溫的同時對升華管進(jìn)行進(jìn)料、抽真空，升華完成后，移開升華爐還能加快升華管的降溫冷卻，大大減少了操作人員實(shí)際生產(chǎn)時的等待時間，提高了生產(chǎn)效率。