一種光學(xué)元件高透射率高反射率測量裝置及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110815095.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113483996A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113483996A 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01M11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳堅(jiān);吳周令 申請（專利權(quán)）人 合肥知常光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓燕;金凱
地址 230031 安徽省合肥市高新區(qū)望江西路800號動漫基地C4樓2層208室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)元件高透射率高反射率測量裝置及測量方法，測量裝置包括有照射光源、第一分光裝置、第二分光裝置、參考反射裝置、標(biāo)定樣品和信號探測裝置。高透射率和高反射率檢測均可以在本發(fā)明的測量裝置上進(jìn)行測量，不需要人為介入、調(diào)整，使用非常方便。本發(fā)明利用實(shí)時動態(tài)差分技術(shù)，當(dāng)待測光學(xué)元件樣品的透反射率和標(biāo)定樣品的透反射率接近時，相當(dāng)于把對待測光學(xué)元件樣品的高透反射率測量轉(zhuǎn)變成對待測光學(xué)元件樣品和標(biāo)定樣品之間的透反射率差值的測量，即把一個大量轉(zhuǎn)成對一個小量的測量，而絕對測量誤差要求并沒有改變，這相當(dāng)于降低了對相對測量誤差的要求，降低了難度，從而保證了測量精度能夠滿足要求。