光學元件亞表面缺陷的多通道原位檢測裝置及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911259313.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111060516B 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN111060516B 申請公布日 2022-03-08
分類號 G01N21/88（2006.01）I;G01N21/64（2006.01）I;G01N25/20（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張霖;許喬;石振東;陳堅;馬驊;馬可;白金璽;李杰;柴立群;趙建華;黃明 申請（專利權）人 合肥知常光電科技有限公司
代理機構 上海恒慧知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 張寧展
地址 621900四川省綿陽市綿山路64號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光學元件亞表面缺陷的多通道原位檢測裝置及檢測方法，用于玻璃等光學元件缺陷測試。該裝置包括由熒光共聚焦成像系統(tǒng)、熒光壽命成像系統(tǒng)、光熱吸收成像系統(tǒng)三個通道構成，可一次性實現(xiàn)光學元件亞表面微納缺陷幾何形態(tài)、光致熒光、光熱吸收特性的原位測試。本發(fā)明具有裝置結構緊湊、檢測通用性強、穩(wěn)定性高的特點，適用于亞表面缺陷的高靈敏度無損檢測。