一種具有溫度補償系統(tǒng)的質譜儀射頻電源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711485178.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108233759A 公開（公告）日 2018-06-29
申請公布號 CN108233759A 申請公布日 2018-06-29
分類號 H02M9/00 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 陳智勇;蔡龍;李玉江;許泉 申請（專利權）人 北京市北分儀器技術有限責任公司
代理機構 北京東方芊悅知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 彭秀麗
地址 100095 北京市海淀區(qū)北清路160號99號樓3-5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有溫度補償系統(tǒng)的質譜儀射頻電源，包括射頻電壓V閉環(huán)電路、直流放大模塊和掃描信號，射頻電壓V閉環(huán)電路依次包括比較器、混頻器、功率放大器和幅度檢測模塊，掃描信號和所述幅度檢測模塊的輸出端分別與比較器的輸入端電性連接，幅度檢測模塊的輸出端通過一乘法器與直流放大模塊的輸入端電性連接，射頻電源中還設有具有正負溫補系數(shù)的溫補放大電路，溫補放大電路包括帶有溫敏元件的溫補模塊，溫敏元件用于檢測射頻電源工作的環(huán)境溫度T，溫補模塊中還存儲有環(huán)境溫度T與射頻電源電源偏移值之間關系的數(shù)據(jù)模型，溫補模塊根據(jù)工作環(huán)境溫度和數(shù)據(jù)模型動態(tài)調整所述射頻電源的反饋量。本發(fā)明采用基于溫敏元件的溫補模塊，主動解決溫漂問題，補償效率高，很好地保持射頻電源的電壓穩(wěn)定性。