大硅片研磨液配比及多點輸送系統(tǒng)裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021070649.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212701412U | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請公布號 | CN212701412U | 申請公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號 | B01F5/10(2006.01)I;B01F15/02(2006.01)I;B01F15/04(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 吳思韻;施文俊;邢廣興 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇融科裝備科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 重慶百潤洪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 沈鋒 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道寶荷大道76號智慧家園B座1801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及硅片研磨拋光技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及大硅片研磨液配比及多點輸送系統(tǒng)裝置，包括至少一個調(diào)配供應(yīng)罐和至少一個定量桶，定量桶與調(diào)配供應(yīng)罐一一對應(yīng)設(shè)置，各定量桶與對應(yīng)的調(diào)配供應(yīng)罐的進(jìn)料口管道連接，各調(diào)配供應(yīng)罐的出料口分別通過管路一與各調(diào)配供應(yīng)罐的進(jìn)料口連通，各所述調(diào)配供應(yīng)罐的罐底分別通過管路二與機(jī)臺連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過定量桶來確定物料的添加量，通過管路一將初步混合均勻的研磨液循環(huán)回調(diào)配供應(yīng)罐實現(xiàn)進(jìn)一步混合，通過管路二將成品研磨液輸送到使用機(jī)臺，并循環(huán)流回調(diào)配供應(yīng)罐，實現(xiàn)多點供應(yīng)，研磨液調(diào)配精度、速度、穩(wěn)定度極高、更動配方容易；可平行輸出、序列輸出，互為備份。?? |
