一種多種氣體混配供應裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021284827.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212701398U 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN212701398U 申請公布日 2021-03-16
分類號 B01F3/22(2006.01)I;B01F15/04(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I;B01F3/02(2006.01)I;B01F3/20(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 郭明華;周翔 申請（專利權）人 江蘇融科裝備科技有限公司
代理機構 北京久維律師事務所 代理人 邢江峰
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道寶荷大道76號智慧家園B座1801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多種氣體混配供應裝置，涉及氣體混配領域，包括配氣閥箱和安裝板,所述配氣閥箱內設有安裝板，所述安裝板的頂面設有低壓手動隔膜閥、低壓氣動隔膜閥、單向閥A、單向閥B、過濾器、氨氣純化器、氮氣純化器、氫氣純化器、氯化氫純化器、混合氣純化器、氨氣質量流量控制器、氮氣質量流量控制器、氫氣質量流量控制器、氯化氫質量流量控制器、混合氣質量流量控制器A和混合氣質量流量控制器B,所述氨氣純化器的底端通過管道與氨氣質量流量控制器固定連接，本實用新型采用氣體質量流量計進行體積配比，嚴格控制配比濃度，在入口端配置氣體純化器，避免受污染的工藝氣體進入工藝設備腔體，有效提高了系統(tǒng)供氣的穩(wěn)定安全。??