大硅片研磨液回收系統(tǒng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020210588044 申請日 -
公開（公告）號 CN212396056U 公開（公告）日 2021-01-26
申請公布號 CN212396056U 申請公布日 2021-01-26
分類號 B01D29/52(2006.01)I;B01D29/11(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 吳思韻;施文俊;邢廣興 申請（專利權(quán)）人 江蘇融科裝備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤洪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 沈鋒
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道寶荷大道76號智慧家園B座1801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片研磨拋光技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及大硅片研磨液回收系統(tǒng)裝置，包括依次管道連接的初級過濾器、緩沖罐、輸送罐和輸送過濾器，所述初級過濾器和所述輸送過濾器均與研磨液供應(yīng)系統(tǒng)管道連接，所述初級過濾器、緩沖罐和輸送罐均與廢液排放系統(tǒng)管道連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的大硅片研磨液回收系統(tǒng)裝置，系統(tǒng)管路簡單，容易清潔保養(yǎng)，研磨廢液回收利用率高，不僅高效且快速地過濾清理研磨廢液中的雜質(zhì)，還可以實(shí)時(shí)監(jiān)控其品質(zhì)變化，從而對研磨廢液進(jìn)行高效循環(huán)利用，降低研磨工序成本成本，避免浪費(fèi)。??