研磨液再生回收系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021228850.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213004696U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請公布號 | CN213004696U | 申請公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號 | B24B57/00(2006.01)I;B01D36/00(2006.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 鄭圣弘;宋凱;吳思韻 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇融科裝備科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 重慶百潤洪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 沈鋒 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道寶荷大道76號智慧家園B座1801 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及化學(xué)機械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種研磨液再生回收系統(tǒng)，包括廢液收集桶、循環(huán)儲存桶、膜過濾裝置、滲透桶槽、濁度計以及控制器，所述廢液收集與循環(huán)儲存桶連通，所述循環(huán)儲存桶與膜過濾裝置構(gòu)成濃縮回路，所述膜過濾裝置的滲透端固定連接有循環(huán)管道，所述循環(huán)管道上設(shè)置有滲透桶槽以及反清洗泵，所述濁度計設(shè)置在所述循環(huán)儲存桶內(nèi)，所述循環(huán)儲存桶上還設(shè)置有輸出管道，所述輸出管道上還設(shè)置有輸出泵，所述濁度計、輸出泵均與所述控制器電連接。所述研磨液再生回收系統(tǒng)回收工藝簡單可靠，可實現(xiàn)研磨液的回收利用，有效降低CMP過程的加工成本，且優(yōu)化排廢，減低環(huán)保的負擔(dān)。?? |
