一種射頻濾波器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011065903.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112436821A 公開（公告）日 2021-03-02
申請公布號 CN112436821A 申請公布日 2021-03-02
分類號 H03H9/64(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 繆建民;張金姣 申請（專利權(quán)）人 邁感微電子（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201313上海市浦東新區(qū)萬祥鎮(zhèn)宏祥北路83弄1-42號20幢118室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種射頻濾波器及其制作方法，射頻濾波器包括：襯底、上電極層、下電極層、加熱層和氮化鎵層；所述襯底包括通孔區(qū)；所述下電極層設(shè)置于所述襯底的一側(cè)；所述加熱層設(shè)置于所述襯底遠離所述下電極層的一側(cè)，所述下電極層和所述加熱層在所述通孔區(qū)相接觸；所述氮化鎵層設(shè)置于所述加熱層遠離所述襯底的一側(cè)；所述上電極層設(shè)置于所述氮化鎵層遠離所述襯底的一側(cè)。本發(fā)明提供的射頻濾波器的工作性能不受環(huán)境溫度的影響，可以在超低溫度下正常工作。??