薄膜體聲波諧振器及濾波器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921433456.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211959173U | 公開（公告）日 | 2020-11-17 |
| 申請公布號 | CN211959173U | 申請公布日 | 2020-11-17 |
| 分類號 | H03H9/17(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 繆建民;張瑞珍 | 申請（專利權(quán)）人 | 邁感微電子（上海）有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 邁感微電子（上海）有限公司 |
| 地址 | 201313上海市浦東新區(qū)萬祥鎮(zhèn)宏祥北路83弄1-42號20幢118室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型實施例公開了一種薄膜體聲波諧振器及濾波器，該薄膜體聲波諧振器包括：支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)部設(shè)置空氣隙；形成在所述支撐結(jié)構(gòu)上的自下而上排列的下電極、壓電層和上電極。本實用新型實施例提供的技術(shù)方案，增加了薄膜體聲波諧振器的機械牢固度，有效避免常規(guī)工藝犧牲層被灌入通孔的腐蝕液腐蝕不完全和腐蝕液清洗不干凈的問題。?? |
