體聲波諧振器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911100619.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112865742A | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112865742A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | H03H9/17(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 繆建民;張瑞珍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 邁感微電子（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201313上海市浦東新區(qū)萬(wàn)祥鎮(zhèn)宏祥北路83弄1-42號(hào)20幢118室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種體聲波諧振器。該體聲波諧振器包括：上電極、壓電層和下電極，壓電層設(shè)置在上電極和下電極之間；壓電層在下電極的垂直投影的至少部分邊界包括多個(gè)鋸齒結(jié)構(gòu)。通過(guò)在壓電層的側(cè)面設(shè)置多個(gè)鋸齒結(jié)構(gòu)，使壓電層的側(cè)面形成不規(guī)則邊緣，以使壓電層通電后產(chǎn)生的橫向體聲波傳播到壓電層與空氣接觸的表面時(shí)，能夠發(fā)生雜亂無(wú)章的反射或漫反射，防止橫向駐波的形成。本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，解決了現(xiàn)有的體聲波諧振器除了產(chǎn)生縱向體聲波外，還會(huì)產(chǎn)生其他形式的駐波，增加體聲波諧振器的噪聲，對(duì)體聲波諧振器的性能產(chǎn)生不利影響的問(wèn)題，阻止了其他形式的駐波的產(chǎn)生，減少了體聲波諧振器的噪聲，提升了體聲波諧振器的性能。?? |
