一種貼片設(shè)備及貼片方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111496735.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114203596A 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114203596A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 杜茂華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 通富微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 226004江蘇省南通市崇川路288號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種貼片設(shè)備及貼片方法，該貼片設(shè)備包括光學(xué)投影單元、載片組件、光學(xué)感應(yīng)組件和貼片單元；通過光學(xué)投影單元將預(yù)設(shè)芯片布局圖投影到載片組件上；光學(xué)感應(yīng)組件設(shè)置在載片組件的下方，用于根據(jù)接收到的投影光線生成光強(qiáng)信號(hào)，以根據(jù)光強(qiáng)信號(hào)對(duì)芯片布局圖進(jìn)行定位，以使得芯片布局圖完全落在載片組件內(nèi)；貼片單元根據(jù)定位后的芯片布局圖在載片組件上進(jìn)行貼片。該貼片設(shè)備無需在玻璃載板上制作定位標(biāo)識(shí)，大大降低了成本，由于芯片布局圖是由光學(xué)投影單元完成，對(duì)于不同設(shè)計(jì)，可以很快調(diào)整芯片布局圖，開發(fā)周期大大降低。該貼片方法操作簡(jiǎn)單，節(jié)約成本，開發(fā)周期降低。