波導(dǎo)集成雪崩光電二極管

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911241096.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110880539A 公開（公告）日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN110880539A 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) H01L31/0232;H01L31/107 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃夢(mèng)園;蘇宗一;邱德煌;李左璽;洪菁吟;潘棟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 希烽光電科技（南京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京京萬(wàn)通知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許天易
地址 210043 江蘇省南京市江北新區(qū)星火路17號(hào)創(chuàng)智大廈B座611室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了單片雪崩光電二極管（APD）的各種實(shí)施例，其可以被制造在絕緣體上硅襯底上。單片APD包括將入射光引導(dǎo)到APD的有源區(qū)域的光波導(dǎo)。光耦合器與光波導(dǎo)一體形成以捕獲入射光。單片APD還包括光反射器，以將不容易被光耦合器捕獲的入射光的一部分反射到光耦合器以進(jìn)一步捕獲。有源區(qū)域包括用于將入射光轉(zhuǎn)換成電子?空穴對(duì)的吸收層、用于通過(guò)雪崩倍增將電子?空穴對(duì)放大成光電流的外延結(jié)構(gòu)、以及用于傳導(dǎo)光電流的一對(duì)電導(dǎo)體。