菲林玻璃光罩

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120980152.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214954514U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214954514U 申請公布日 2021-11-30
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 伍佩銘;許迪;董鵬程;高輝;孫勝延;楊艷 申請（專利權(quán)）人 乾宇電子材料（東莞）有限公司
代理機構(gòu) 深圳市恒程創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 苗廣冬
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)工業(yè)西路14號1棟1704室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種菲林玻璃光罩，包括玻璃基板、菲林片以及折射鏡，所述玻璃基板包括相互背對的入光面和出光面；所述菲林片貼設(shè)于所述出光面，所述菲林片包括透光區(qū)和遮光區(qū)；所述折射鏡設(shè)于所述菲林片的背離所述玻璃基板的一側(cè)，所述折射鏡于所述菲林片的至少部分投影位于所述透光區(qū)內(nèi)，以使由所述透光區(qū)邊緣出射的衍射光經(jīng)過所述折射鏡后的出射角度變小。本申請的技術(shù)方案，得以提高曝光精度和分辨率。