一種防爆油擴散泵真空系統(tǒng)及其防爆控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210324787.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102829004B 公開（公告）日 2016-09-07
申請公布號 CN102829004B 申請公布日 2016-09-07
分類號 F04F9/08(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 令曉明;范多旺;夏榮斌;范多進;李德文;楊樹本 申請（專利權(quán)）人 常州大成綠色鍍膜科技有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 213000 江蘇省常州市新北區(qū)創(chuàng)業(yè)路16號粵海工業(yè)園2號A座和B座標準廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種防爆油擴散泵真空系統(tǒng)及其防爆控制方法，包括油擴散泵系統(tǒng)，油擴散泵系統(tǒng)具有油擴散泵，油擴散泵的抽氣口與真空室的出氣口通過管路連通，還包括控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)包括設(shè)置在油擴散泵的前級排氣口管路上的壓力檢測裝置、設(shè)置在油擴散泵內(nèi)的實時檢測油溫的測溫裝置和測量真空室內(nèi)壓力的測壓裝置，控制系統(tǒng)設(shè)有臨界壓力Pq和防爆壓力Pfb，控制系統(tǒng)通過采集壓力檢測裝置、測溫裝置和測壓裝置測得的實時數(shù)據(jù)控制油擴散泵系統(tǒng)中各泵組和閥組的啟閉。本發(fā)明通過控制系統(tǒng)實時監(jiān)控油擴散泵的油溫、前級壓力和真空室壓力，并與設(shè)定的臨界壓力和防爆壓力進行比較，若檢測到危險做出相應的處理，避免油擴散泵發(fā)生爆炸。