一種芯片加工用除塵裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920298671.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209810814U 公開（公告）日 2019-12-20
申請公布號 CN209810814U 申請公布日 2019-12-20
分類號 B08B5/04（2006.01） 分類 清潔;
發(fā)明人 金秋林 申請（專利權）人 山東中芯光電科技有限公司
代理機構 北京恒泰銘睿知識產權代理有限公司 代理人 山東中芯光電科技有限公司
地址 250101 山東省濟南市高新區(qū)港興三路北段一號濟南藥谷研發(fā)平臺1號樓A座423室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片加工用除塵裝置，其結構包括安裝架、控制箱、電線、微型自吸泵、壓力表、開關、電源線、箱體、嵌套鈕、蜂窩板、透明板、連接孔、除塵槍、中空管和流量調節(jié)裝置，通過在氣槽底端設置了流量調節(jié)裝置，選擇合適腔體過風流量，將限位柱插入調節(jié)卡洞中，開啟微型自吸泵，將塵體從除塵槍引入，穿過各個槽體，在經過第一腔體、第二腔體、第三腔體，風力推動擋風板，卷彈簧受力變形，擋風板最低位置為調節(jié)卡洞處，此時氣流進入排氣筒中，灰塵慢慢積聚在蜂窩板底端，達到了能夠先調節(jié)最小風量試用其除塵效果，再增強風量除塵，使精密芯片不輕易被損壞，實用性強的優(yōu)點。