一種芯片管腳共面性和間距的測試裝置及其測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210190513.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114252000A 公開（公告）日 2022-03-29
申請公布號 CN114252000A 申請公布日 2022-03-29
分類號 G01B7/00（2006.01）I;G01B7/14（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李鵬飛;李濤;牛姜楓;趙杰 申請（專利權）人 北京京瀚禹電子工程技術有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 102200北京市昌平區(qū)沙河鎮(zhèn)松蘭堡村西海特光電院內(nèi)辦公樓1層102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及芯片檢測的領域，尤其是涉及一種芯片管腳共面性和間距的測試裝置，包括檢測平臺、設置在檢測平臺上用于固定芯片位置的固定裝置以及用于對芯片管腳共面性和間距進行檢測的檢測裝置，檢測平臺上設置有帶動檢測裝置水平移動的水平驅(qū)動件以及帶動檢測裝置豎直移動的豎直驅(qū)動件，檢測裝置包括探針以及設置在探針上端的壓電傳感器，當探針在芯片管腳上移動時，探針與壓電傳感器抵接，壓電傳感器對探針在各個管腳上的豎直移動距離進行檢測以得到各個管腳所在平面，壓電傳感器與處理模塊連接，處理模塊用于統(tǒng)計探針在相鄰兩管腳間的移動時間得出相鄰兩管腳的間距。本申請具有可以減少工作人員的勞動強度，提高檢測效率，減少檢測故障的效果。