激光直寫式光刻設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202130477604.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN307003593S | 公開（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申請公布號 | CN307003593S | 申請公布日 | 2021-12-14 |
| 分類號 | 15-99 （13） | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 林垂真;周川;張華;吳越;項銘;陳新宏 | 申請（專利權(quán)）人 | 杭州新諾微電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 浙江永鼎律師事務(wù)所 | 代理人 | 陸永強 |
| 地址 | 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)南陽街道巖峰村（自然村）772號-28 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 1.本外觀設(shè)計產(chǎn)品的名稱：激光直寫式光刻設(shè)備。2.本外觀設(shè)計產(chǎn)品的用途：用于光刻設(shè)備。3.本外觀設(shè)計產(chǎn)品的設(shè)計要點：在于形狀。4.最能表明設(shè)計要點的圖片或照片：立體圖。 |
