四氯化硅加料裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021729447.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212986772U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212986772U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-16 |
| 分類號(hào) | F17D1/02(2006.01)I | 分類 | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 葉高英;古忠濤;謝玉明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州英納特納米科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州領(lǐng)躍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王寧 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城綜合樓中北區(qū)23棟214室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種四氯化硅加料裝置，用于提供氣態(tài)的四氯化硅，包括：四氯化硅儲(chǔ)罐、輸送泵、第一緩沖罐和加熱機(jī)構(gòu)；所述四氯化硅儲(chǔ)罐用于存放液態(tài)的四氯化硅，所述輸送泵通過(guò)管路分別連接所述四氯化硅儲(chǔ)罐和第一緩沖罐，所述輸送泵用于將所述四氯化硅儲(chǔ)罐的四氯化硅送入所述第一緩沖罐，所述加熱機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述輸送泵和第一緩沖罐之間的管路進(jìn)行加熱以使管路內(nèi)液態(tài)的四氯化硅汽化，氣態(tài)的四氯化硅從所述第一緩沖罐向外送出。上述四氯化硅加料裝置能夠穩(wěn)定、均勻地送出氣態(tài)的四氯化硅。?? |
