一種用于芯片老化的恒溫水路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010633919.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111751712A 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN111751712A 申請公布日 2020-10-09
分類號 G01R31/28(2006.01)I;G05D23/19(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 顏小偉;昝國驥;李少華;鄧衛(wèi)華 申請（專利權）人 武漢永力睿源科技有限公司
代理機構 北京高沃律師事務所 代理人 武漢永力睿源科技有限公司
地址 430205湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)流芳園南路19號永力產(chǎn)業(yè)園二樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種用于芯片老化的恒溫水路系統(tǒng)，涉及恒溫裝置技術領域，主要結構包括并行設置的進水管路和出水管路以及多個水冷板；水冷板用于放置待測芯片，內(nèi)部設有循環(huán)冷卻水路和加熱管；芯片工位位于水冷板上，水冷板上設置有限位座限定芯片位置。待測芯片通電后，激光通過積分球進行漫反射后到出光口。芯片通電工作時，芯片溫度傳到芯片底座，芯片底座與芯片工位貼緊接觸，熱量傳遞到水冷板上。水冷板內(nèi)部循環(huán)水路帶走熱量，降低水冷板溫度，從而間接帶走芯片底座熱量。水冷板內(nèi)部帶有溫度傳感器，溫度下降到預定溫度后，即可保持芯片底座恒溫，從而能夠?qū)Σ煌β实募す庑酒饨禍亍??