一種漸開(kāi)線型柔性電容式壓力傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610646775.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106289591B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN106289591B 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類(lèi)號(hào) G01L1/14 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周亞軍;郭維;王林;程丁儒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江大學(xué)昆山創(chuàng)新中心
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 母秋松;董建林
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山市祖沖之南路1699號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種漸開(kāi)線型柔性電容式壓力傳感器，包括：基底層、電極層、介質(zhì)層，所述基底層、電極層、介質(zhì)層從下至上依次設(shè)置；所述電極層包括：多個(gè)電容、電極，所述電容呈矩陣結(jié)構(gòu)排列在基底層頂面，每個(gè)電容包括：圓盤(pán)電容、漸開(kāi)線、彎曲線、電容電極，所述圓盤(pán)電容外側(cè)邊源分別引出兩根漸開(kāi)線，每根漸開(kāi)線末端均連接有彎曲線，每根彎曲線末端均連接有電容電極；所述基底層頂面四角均設(shè)置有電極；所述基底層、介質(zhì)層均采用PDMS聚二甲基硅氧烷或PI聚酰亞胺或PET聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯或柔性玻璃或金屬箔或試紙。本設(shè)計(jì)電容電極的延展伸縮性得到有效的提升，能夠在使用電容電極的前提下提高器件的柔性性能。