碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011433027.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112480825A 公開（公告）日 2021-03-12
申請公布號 CN112480825A 申請公布日 2021-03-12
分類號 C09G1/02(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 付存;付春淞;劉丹丹;王松娟;王泳;汪靜 申請（專利權）人 河南聯(lián)合精密材料股份有限公司
代理機構 鄭州優(yōu)盾知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 王紅培
地址 450016河南省鄭州市鄭州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)第十七大街與經(jīng)南八北二路交叉口東80米路北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種碳化硅晶片粗拋用金剛石拋光液及制備方法，包括以下重量百分比的組分：金剛石磨料0.1?1%、油性劑3?10%、分散劑0.1?0.4%、改性脲溶液0.1?0.5%、活化劑0.1?0.5%、余量為基礎溶劑。采用本發(fā)明中磨料兩步處理法可有效提高多晶金剛石粉體利用率，同時有效的減少拋光液中超尺寸顆粒以及硬團聚體存在導致的劃傷問題；本發(fā)明采用改性脲溶液作為有機懸浮劑，拋光液長期放置無明顯分層現(xiàn)象，與無機懸浮劑，如疏水改性氣相法白炭黑，有機膨潤土相比，拋光廢屑不易粘附在拋光盤上，易清洗。??