一種非真空的步進(jìn)通過(guò)式快速硒化裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220696939.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202989270U 公開(kāi)（公告）日 2013-06-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN202989270U 申請(qǐng)公布日 2013-06-12
分類號(hào) C23C8/06(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李和勝;李劼;閆升運(yùn);孫琳;王巖 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東孚日光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濰坊正信專利事務(wù)所 代理人 王偉霞
地址 261500 山東省濰坊市高密市孚日大道以北小辛河以東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種非真空的步進(jìn)通過(guò)式快速硒化裝置，包括工藝腔室，所述工藝腔室利用門閘分割為順次排列的裝載腔、加熱腔、保溫腔、冷卻腔和卸載腔，所述加熱腔和保溫腔設(shè)置有加熱單元、鼓風(fēng)單元和抽氣單元，所述加熱單元包括均勻分布于所述加熱腔和保溫腔內(nèi)部的電熱絲以及上下兩排鹵素?zé)?，所述鼓風(fēng)單元和抽氣單元均設(shè)置有用以將工藝氣體格柵化的格柵板。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散氣體流場(chǎng)均勻性的高效控制，實(shí)現(xiàn)了擴(kuò)散工藝溫度和溫升的高效控制，在保證大面積硒化均勻性的前提下，通過(guò)快速硒化有助于生產(chǎn)效率的大幅提升。