一種非真空的步進通過式快速硒化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220696939.2 申請日 -
公開（公告）號 CN202989270U 公開（公告）日 2013-06-12
申請公布號 CN202989270U 申請公布日 2013-06-12
分類號 C23C8/06(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李和勝;李劼;閆升運;孫琳;王巖 申請（專利權(quán)）人 山東孚日光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 濰坊正信專利事務所 代理人 王偉霞
地址 261500 山東省濰坊市高密市孚日大道以北小辛河以東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種非真空的步進通過式快速硒化裝置，包括工藝腔室，所述工藝腔室利用門閘分割為順次排列的裝載腔、加熱腔、保溫腔、冷卻腔和卸載腔，所述加熱腔和保溫腔設(shè)置有加熱單元、鼓風單元和抽氣單元，所述加熱單元包括均勻分布于所述加熱腔和保溫腔內(nèi)部的電熱絲以及上下兩排鹵素燈，所述鼓風單元和抽氣單元均設(shè)置有用以將工藝氣體格柵化的格柵板。本實用新型實現(xiàn)了擴散氣體流場均勻性的高效控制，實現(xiàn)了擴散工藝溫度和溫升的高效控制，在保證大面積硒化均勻性的前提下，通過快速硒化有助于生產(chǎn)效率的大幅提升。