一種非真空的步進(jìn)通過式快速硒化裝置及利用其實現(xiàn)的硒化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210546090.5 申請日 -
公開（公告）號 CN103021823A 公開（公告）日 2013-04-03
申請公布號 CN103021823A 申請公布日 2013-04-03
分類號 H01L21/223(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;C23C8/06(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李和勝;李劼;閆升運(yùn);孫琳;王巖 申請（專利權(quán)）人 山東孚日光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濰坊正信專利事務(wù)所 代理人 王偉霞
地址 261500 山東省濰坊市高密市孚日大道以北小辛河以東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種非真空的步進(jìn)通過式快速硒化裝置，包括工藝腔室，所述工藝腔室利用門閘分割為順次排列的裝載腔、加熱腔、保溫腔、冷卻腔和卸載腔，所述加熱腔和保溫腔設(shè)置有加熱單元、鼓風(fēng)單元和抽氣單元，所述加熱單元包括均勻分布于所述加熱腔和保溫腔內(nèi)部的電熱絲以及上下兩排鹵素?zé)?，所述鼓風(fēng)單元和抽氣單元均設(shè)置有用以將工藝氣體格柵化的格柵板，本發(fā)明同時公開了利用非真空的步進(jìn)通過式快速硒化裝置實現(xiàn)的硒化方法。本發(fā)明實現(xiàn)了擴(kuò)散氣體流場均勻性的高效控制，實現(xiàn)了擴(kuò)散工藝溫度和溫升的高效控制，在保證大面積硒化均勻性的前提下，通過快速硒化有助于生產(chǎn)效率的大幅提升。