一種三軸磁傳感器及其制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111459362.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114220913A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114220913A 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L43/02（2006.01）I;H01L43/08（2006.01）I;H01L43/12（2006.01）I;G01R33/02（2006.01）I;G01R33/09（2006.01）I;G01R33/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭慧芳;肖勇 申請（專利權(quán)）人 上海矽?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機構(gòu) 上海金盛協(xié)力知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 嚴(yán)帥
地址 200050上海市長寧區(qū)定西路1328號3樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種三軸磁傳感器及其制備工藝，所述三軸磁傳感器包括第一磁感測機構(gòu)、第二磁感測機構(gòu)及第三磁感測機構(gòu)；第一磁感測機構(gòu)用以感測第一方向的磁場；第一磁感測機構(gòu)包括至少一根第一磁阻條；第二磁感測機構(gòu)用以感測第二方向的磁場；第二磁感測機構(gòu)包括至少一根第二磁阻條；第三磁感測機構(gòu)用以感測第三方向的磁場；所述第三磁感測機構(gòu)包括至少兩根第三磁阻條，各第三磁阻條設(shè)置于對應(yīng)溝槽的側(cè)壁；所述三軸磁傳感器的各溝槽中，存在相鄰兩個溝槽之間設(shè)有第一磁阻條或/和第二磁阻條的兩個溝槽，使得第三磁阻條與第一磁阻條或/和第二磁阻條交錯設(shè)置。本發(fā)明可降低工藝加工誤差，提高工藝窗口，改善產(chǎn)品的整體良率。