三軸加速度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120190544.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214585542U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214585542U 申請公布日 2021-11-02
分類號 G01P15/18（2013.01）I;G01P15/125（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝國偉;金怡;顏培力 申請（專利權(quán)）人 上海矽?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫佳胤
地址 200050上海市長寧區(qū)定西路1328號3樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種三軸加速度傳感器，包括基板、以及固定設(shè)置于基板上的至少一個(gè)錨點(diǎn)；與基板表面平行且彼此相互垂直的兩方向定義為X方向與Y方向，所在的平面為XY平面，垂直XY平面的方向?yàn)閆方向；所述傳感器還包括：第一可動(dòng)質(zhì)量塊，通過第一彈性元件與錨點(diǎn)連接，所述第一彈性元件為X方向與Y方向的雙向彈性元件與梁連接；第二可動(dòng)質(zhì)量塊，通過第二彈性元件與第一可動(dòng)質(zhì)量塊連接，所述第二彈性元件為以Y軸為轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)臂，使所述第二可動(dòng)質(zhì)量塊可繞XZ平面轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第三可動(dòng)質(zhì)量塊，通過第三彈性元件與第一可動(dòng)質(zhì)量塊連接，所述第三彈性元件為以Y軸為轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)臂，使所述第三可動(dòng)質(zhì)量塊可繞XZ平面轉(zhuǎn)動(dòng)；第二可動(dòng)質(zhì)量塊和第三可動(dòng)質(zhì)量塊的重心分別位于錨點(diǎn)Y軸方向的兩側(cè)。本實(shí)用新型通過設(shè)置兩個(gè)不同重心位置的質(zhì)量塊，通過質(zhì)量塊的旋轉(zhuǎn)消除外界應(yīng)力對加速度檢測的影響。