三軸加速度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120187055.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214585541U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214585541U 申請公布日 2021-11-02
分類號 G01P15/18（2013.01）I;G01P15/125（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝國偉;金怡;顏培力 申請（專利權(quán)）人 上海矽?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 孫佳胤
地址 200050上海市長寧區(qū)定西路1328號3樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種三軸加速度傳感器，包括：基板，固定設置于基板上的至少一個錨點，與基板表面平行且彼此相互垂直的兩方向定義為X方向與Y方向，所在的平面為XY平面，垂直XY平面的方向為Z方向，還包括：第一可動質(zhì)量塊，通過第一彈性元件與錨點連接，所述第一彈性元件為X方向與Y方向的雙向彈性元件；第二可動質(zhì)量塊，通過第二彈性元件與第一可動質(zhì)量塊連接，所述第二彈性元件為以Y軸轉(zhuǎn)為轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)臂，使所述第二可動質(zhì)量塊可繞XZ平面轉(zhuǎn)動；第一質(zhì)量塊和第二質(zhì)量塊的重心分別位于錨點Y軸方向的兩側(cè)。本實用新型通過設置兩個不同重心位置的質(zhì)量塊，通過質(zhì)量塊的旋轉(zhuǎn)消除外界應力對加速度檢測的影響。