一種集成電路生產(chǎn)的基片涂層烘干箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021793280.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213315998U 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN213315998U 申請公布日 2021-06-01
分類號 B05D3/04（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 吳亞祥 申請（專利權）人 江蘇洲旭電路科技有限公司
代理機構 重慶晟軒知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 孔玲瓏
地址 223400江蘇省淮安市漣水縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)電子產(chǎn)業(yè)園6＃廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于集成電路生產(chǎn)領域，具體為一種集成電路生產(chǎn)的基片涂層烘干箱，包括烘干機構、加熱機構，所述烘干機構包括箱體、箱門、觀察窗、支撐板、雙向螺紋桿，所述箱體前部通過螺釘連接的鉸鏈支撐有所述箱門，所述箱門遠離所述鉸鏈的一端通過螺釘連接有鎖扣，所述箱門前部靠近所述鎖扣的一側安裝有箱門把手，所述箱門上嵌入有所述觀察窗，所述箱體內(nèi)側壁上固定有所述支撐板，所述支撐板上轉動連接有所述雙向螺紋桿，所述雙向螺紋桿上通過螺紋連接有兩個位移塊。本實用新型采用設置在箱體外部的轉動把手帶動雙向螺紋桿轉動，因此不會加熱轉動把手，也就不會燙傷人員。??