一種光阻墻成型方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310666847.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN103698968B | 公開（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103698968B | 申請(qǐng)公布日 | 2017-01-25 |
| 分類號(hào) | G03F1/68(2012.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 徐成;于大全;李昭強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中微智創(chuàng)（北京）軟件技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 曹祖良;韓鳳 |
| 地址 | 214135 江蘇省無錫市新區(qū)太湖國際科技園菱湖大道200號(hào)中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園D1棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種光阻墻成型方法，其使用注塑技術(shù)成型一塊平板，平板的正面具有相同高度的第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)，在第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)之間由凹槽分隔；將所述平板正面滾膠并與第一基板壓合，再對(duì)平板背面進(jìn)行碾磨減薄，直至第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)底部分離；并用紫外光照射去除第一基板上的粘性；采用一個(gè)轉(zhuǎn)移基板將第一凸臺(tái)從第一基板上分離出來，并將滾上膠的第一凸臺(tái)背面與第二基板鍵合；最后解除第一凸臺(tái)與轉(zhuǎn)移基板間的臨時(shí)鍵合，形成光阻墻結(jié)構(gòu)。其優(yōu)點(diǎn)是：由于光阻墻結(jié)構(gòu)是單獨(dú)成型，相比傳統(tǒng)光刻膠光刻方法可大大減少在光阻墻成型過程中污染導(dǎo)致不合格器件產(chǎn)生的幾率。注塑使用的材料提高光阻墻光罩結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，有效減少分層和脫離等可靠性問題。 |
