一種光阻墻成型方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310666847.9 申請日 -
公開（公告）號 CN103698968A 公開（公告）日 2014-04-02
申請公布號 CN103698968A 申請公布日 2014-04-02
分類號 G03F1/00(2012.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 徐成;于大全;李昭強 申請（專利權）人 中微智創(chuàng)（北京）軟件技術有限公司
代理機構 無錫市大為專利商標事務所 代理人 曹祖良;韓鳳
地址 214135 江蘇省無錫市新區(qū)太湖國際科技園菱湖大道200號中國傳感網國際創(chuàng)新園D1棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光阻墻成型方法，其使用注塑技術成型一塊平板，平板的正面具有相同高度的第一凸臺和第二凸臺，在第一凸臺和第二凸臺之間由凹槽分隔；將所述平板正面滾膠并與第一基板壓合，再對平板背面進行碾磨減薄，直至第一凸臺和第二凸臺底部分離；并用紫外光照射去除第一基板上的粘性；采用一個轉移基板將第一凸臺從第一基板上分離出來，并將滾上膠的第一凸臺背面與第二基板鍵合；最后解除第一凸臺與轉移基板間的臨時鍵合，形成光阻墻結構。其優(yōu)點是：由于光阻墻結構是單獨成型，相比傳統(tǒng)光刻膠光刻方法可大大減少在光阻墻成型過程中污染導致不合格器件產生的幾率。注塑使用的材料提高光阻墻光罩結構強度，有效減少分層和脫離等可靠性問題。