具有蝕刻功能的可剝膠及蝕刻方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710157222.8 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN108624106A | 公開(公告)日 | 2018-10-09 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN108624106A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-10-09 |
分類號(hào) | C09D5/20;C09D133/00;C09D175/04;C09D125/04;C09D163/00;C23F1/02;H01L21/302 | 分類 | 染料;涂料;拋光劑;天然樹脂;黏合劑;其他類目不包含的組合物;其他類目不包含的材料的應(yīng)用; |
發(fā)明人 | 潘克菲;孟祥浩 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 安徽諾金納米科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 楊林潔 |
地址 | 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)青丘街126號(hào)青丘工業(yè)坊A號(hào)廠房 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種具有蝕刻功能的可剝膠及蝕刻方法,所述可剝膠包括:蝕刻劑0.05?20份、樹脂20?80份、無機(jī)填料5?20份,所述樹脂為光固化樹脂以及熱固化樹脂中的至少一種;在需要對(duì)基板上的導(dǎo)電膜層進(jìn)行圖案化處理加工時(shí),直接將上述可剝膠涂覆在導(dǎo)電膜層上對(duì)導(dǎo)電膜層進(jìn)行蝕刻,經(jīng)高溫固化和/或紫外線固化所述可剝膠后,將可剝膠剝離即可形成需要的導(dǎo)電圖案,從而在對(duì)所述導(dǎo)電膜層進(jìn)行圖案化處理加工的過程中不需要經(jīng)過去離子水沖洗以及烘烤等步驟,即,通過上述具有蝕刻功能的可剝膠能夠?qū)崿F(xiàn)免沖洗的蝕刻工藝。 |
