一種裝載超薄基板的成膜夾持裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120254113.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214361662U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361662U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C23C14/50（2006.01）I;G02B1/10（2015.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 羅國星;伍梓輝;周培;肖科學 申請（專利權(quán)）人 深圳正和捷思科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳智趣知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔艷崢
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地街道佳興路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種裝載超薄基板的成膜夾持裝置，包括基座主件、設(shè)置在基座主件上的螺桿和用于放置基板的卡槽；基板設(shè)置在卡槽里，卡槽包括第一卡件和第二卡件，第一卡件連接第二卡件；螺桿包括至少一個可調(diào)螺桿和至少兩個固定螺桿，至少兩個固定螺桿用于將基板朝同一方向固定，至少一個可調(diào)螺桿用于將基板朝第一卡件和第二卡件固定。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的一種裝載超薄基板的成膜夾持裝置，在裝載超薄基板高速旋轉(zhuǎn)時，基板不會脫離，實現(xiàn)了基板在高速轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動下進行長久且穩(wěn)定的鍍膜。