一種高可靠性濾光片制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110138713.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112941460A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112941460A 申請公布日 2021-06-11
分類號 C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/24;C23C14/58 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳國彥;刁兆俊;蔡喜斌;華秀菊 申請（專利權(quán)）人 深圳正和捷思科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳智趣知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔艷崢
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地街道佳興路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高可靠性濾光片制作方法，包括：選擇硬度大、耐高溫、膨脹系數(shù)低、化學(xué)穩(wěn)定性良好的石英玻璃；對玻璃基板進(jìn)行清洗并烘干保存；在鍍膜前，對鍍膜治具進(jìn)行抽取高真空，使鍍膜治具的真空度穩(wěn)定在1.0E?3Pa之間，同時對鍍膜治具內(nèi)的腔體和清洗并烘干后的玻璃基板進(jìn)行恒溫加熱至220℃，將恒溫加熱后的玻璃基板裝載至鍍膜治具的傘架上，使用高折射率的Ti3O5材料和低折射率的SiO2材料對玻璃基板進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜；將完成鍍膜的玻璃基板進(jìn)行自然冷卻，將高純度的氮?dú)獬淙脲兡ぶ尉叩那惑w內(nèi)對冷卻后的玻璃基板進(jìn)行固化。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明能改善產(chǎn)品力學(xué)特性，制作出高可靠性的濾光片，能解決現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)品良率不高、濾光片容易脫膜、崩邊和裂角的問題。