一種可調(diào)節(jié)均一性的固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120248114.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214361661U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361661U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;G02B1/10（2015.01）I;G02B5/30（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周培;刁兆俊;李朋輝;關(guān)喜振 申請（專利權(quán)）人 深圳正和捷思科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳智趣知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔艷崢
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)坪地街道佳興路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種可調(diào)節(jié)均一性的固定裝置，包括環(huán)形底座、固定塊組件、調(diào)節(jié)組件和薄片組件；固定塊組件設(shè)置在環(huán)形底座的四周用于承載薄片組件；調(diào)節(jié)組件設(shè)置在環(huán)形底座的四周并抵接于薄片組件用于可調(diào)節(jié)地承載薄片組件；玻璃基板安裝在薄片組件上，薄片組件設(shè)置在固定塊組件和調(diào)節(jié)組件上用于調(diào)節(jié)玻璃基板的光學(xué)膜厚。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型通過調(diào)節(jié)組件對薄片組件的水平微調(diào)以及薄片組件對玻璃基板的水平調(diào)節(jié)，使玻璃基板能根據(jù)不同的光學(xué)指標(biāo)需求實現(xiàn)其水平表面各個角度的自由調(diào)節(jié)，進(jìn)而提高玻璃基板的水平均一性，避免玻璃基板在成膜過程中由于均一性低造成各個位置的波長分布散亂和波長偏差大的現(xiàn)象，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。