一種單晶爐用波紋管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122105614.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215668285U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215668285U 申請公布日 2022-01-28
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 方雅軍 申請（專利權）人 華耀光電科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 010070 內蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意工業(yè)園區(qū)沙爾沁鎮(zhèn)陽光大街北、工農路東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種單晶爐用波紋管，包括波紋管體以及固定連接在波紋管體上方的上法蘭圈，還包括設置在波紋管體內部的循環(huán)水冷套以及與循環(huán)水冷套相連通的進水管道及出水管道，所述進水管道、出水管道均與所述上法蘭圈相連接，循環(huán)冷卻水能夠從進水管道進入所述循環(huán)水冷套內部，之后從所述出水管道流出。本實用新型的單晶爐用波紋管在波紋管管體內部增設循環(huán)水冷套，循環(huán)水冷套內部能夠循環(huán)工業(yè)冷卻水，當有硅料或者硅液滴落時，通過循環(huán)水冷套的降溫處理能有效避免波紋管被高溫燙穿，延長了波紋管的使用壽命，降低設備生產風險、提高設備運行能力。