一種單晶爐用導(dǎo)流筒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120108683.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215517725U 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN215517725U 申請公布日 2022-01-14
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 趙剛;高磊 申請（專利權(quán)）人 華耀光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京開陽星知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 樊曉敏
地址 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意工業(yè)園區(qū)沙爾沁鎮(zhèn)陽光大街北、工農(nóng)路東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種單晶爐用導(dǎo)流筒，包括外導(dǎo)流筒及套設(shè)在外導(dǎo)流筒內(nèi)部的內(nèi)導(dǎo)流筒，在內(nèi)導(dǎo)流筒的下口處可拆卸的安裝有導(dǎo)流筒套環(huán)，通過更換不同尺寸的導(dǎo)流筒套環(huán)，使得導(dǎo)流筒套環(huán)的最小內(nèi)徑與待拉制的單晶尺寸相對應(yīng)。本實用新型的單晶爐用導(dǎo)流筒為了滿足不同直徑單晶硅棒的拉制，僅需要對導(dǎo)流筒的個別組件進(jìn)行更換即可改變導(dǎo)流筒下口直徑，不需要整體更換導(dǎo)流筒整體組件，降低了生產(chǎn)成本。