一種用于單晶爐拉制不同直徑硅單晶的水冷裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120107846.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215517739U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215517739U 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類號(hào) C30B15/22（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 趙剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華耀光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京開(kāi)陽(yáng)星知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 樊曉敏
地址 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市如意工業(yè)園區(qū)沙爾沁鎮(zhèn)陽(yáng)光大街北、工農(nóng)路東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于單晶爐拉制不同直徑硅單晶的水冷裝置，包括同一軸心的外層水冷屏和內(nèi)層水冷屏，內(nèi)層水冷屏套設(shè)于外層水冷屏的內(nèi)腔中，外層水冷屏的頂部一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)水管，頂部另一側(cè)與第一進(jìn)水管相對(duì)位置設(shè)有第一出水管，內(nèi)層水冷屏的頂部一側(cè)設(shè)有第二進(jìn)水管，頂部另一側(cè)與第二進(jìn)水管相對(duì)位置設(shè)有第二出水管。本實(shí)用新型水冷裝置設(shè)置有多層水冷屏結(jié)構(gòu)，且每層水冷屏均單獨(dú)控制水流量，可根據(jù)單晶硅棒直徑快速更適合尺寸的水冷裝置；通過(guò)進(jìn)水管和出水管上設(shè)置導(dǎo)流筒掛板，可根據(jù)單晶硅棒在拉制過(guò)程中需要水冷的位置，用流筒掛板將本水冷裝置掛接在合適的位置；且使用本裝置，無(wú)需增加水冷屏和石墨組件的成本，達(dá)到降低生產(chǎn)成本目的。