識(shí)別化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨性能的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201210030428.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN102554768B | 公開（公告）日 | 2018-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN102554768B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-02-09 |
| 分類號(hào) | B24B37/26;B24B37/04 | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 李協(xié)吉;張澤松;程君;李志國(guó) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市張江高科技園區(qū)祖沖之路1399號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 根據(jù)本發(fā)明的識(shí)別化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨性能的方法包括：為研磨墊提供U型細(xì)磨墊；使修整部件僅僅沿固定修整方向在所述U型細(xì)磨墊上進(jìn)行修整；測(cè)試U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強(qiáng)度；以及根據(jù)U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強(qiáng)度判斷化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨性能。所述測(cè)試U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強(qiáng)度的步驟包括：在所述U型細(xì)磨墊的彎曲部分上放置測(cè)量重塊，該測(cè)量重塊的重量已知；測(cè)量所述U型細(xì)磨墊的彎曲部分的長(zhǎng)度、以及所述U型細(xì)磨墊由于所述測(cè)量重塊的重量而下壓的深度；以及根據(jù)所述長(zhǎng)度以及所述深度計(jì)算U型緩沖墊的彎曲部分的抗彎強(qiáng)度。 |
