電阻模型的建模方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310321036.5 申請日 -
公開（公告）號 CN103390086B 公開（公告）日 2018-01-26
申請公布號 CN103390086B 申請公布日 2018-01-26
分類號 G06F17/50 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 廖夢星;吉遠(yuǎn)倩 申請（專利權(quán)）人 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
地址 201203 上海市張江高科技園區(qū)祖沖之路1399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電阻模型的建模方法，包括：根據(jù)晶圓的測量結(jié)果建立固有的電阻模型，所述晶圓包含模擬對象和多個用于測量的Pad，所述Pad通過金屬線與所述模擬對象連接；在固有的電阻模型中增加參數(shù)設(shè)置和金屬線子電路，利用所述參數(shù)和金屬線子電路計算金屬線的電阻；根據(jù)所述測量結(jié)果和所述金屬線的電阻建立最終的電阻模型。在本發(fā)明提供的電阻模型的建模方法中，在固有的電阻模型的基礎(chǔ)上計算金屬線的電阻，根據(jù)所述固有的電阻模型和金屬線的電阻形成最終的電阻模型，最終的電阻模型消除了金屬線對電阻模型的影響，使得模擬結(jié)果更加精確。