一種用于冷鏡法極低露點(diǎn)快速測(cè)量的氣路系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922089971.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211043219U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211043219U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-17 |
| 分類號(hào) | G01N25/68 | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 宋巍巍;顧正華;蓋文;劉向波;韓杰;梁文清;張文清;顧光武;曾星 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇鴻源動(dòng)力科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 綿陽(yáng)山之南專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 沈強(qiáng) |
| 地址 | 621000 四川省綿陽(yáng)市涪城區(qū)二環(huán)路南段6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于冷鏡法極低露點(diǎn)快速測(cè)量的氣路系統(tǒng)，該方案包括有進(jìn)氣口、不銹鋼進(jìn)氣管道、測(cè)量腔、鏡面、制冷機(jī)、質(zhì)量流量控制器MFC、不銹鋼出氣管道和出氣口；鏡面設(shè)置在測(cè)量腔內(nèi)；鏡面通過(guò)制冷管路與設(shè)置在測(cè)量腔外的制冷機(jī)連接；不銹鋼進(jìn)氣管道一端與進(jìn)氣口連接，另一端與測(cè)量腔連通；不銹鋼出氣管道一端與出氣口連接，另一端與測(cè)量腔連通；質(zhì)量流量控制器MFC串聯(lián)安裝在出氣管道上。該方案可以避免由于MFC內(nèi)部容易存水導(dǎo)致內(nèi)表面材料緩慢釋放水分，影響測(cè)量速度和精度。同時(shí)通過(guò)電伴熱升溫，減少氣路管道內(nèi)壁材料吸附水份的含量，提高露點(diǎn)測(cè)量速度。 |
