一種用于冷鏡法極低露點快速測量的氣路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911190528.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110672662A 公開（公告）日 2020-01-10
申請公布號 CN110672662A 申請公布日 2020-01-10
分類號 G01N25/68（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋巍巍; 顧正華; 蓋文; 劉向波; 韓杰; 梁文清; 張文清; 顧光武; 曾星 申請（專利權(quán)）人 江蘇鴻源動力科技有限公司
代理機構(gòu) 綿陽山之南專利代理事務所（普通合伙） 代理人 沈強
地址 621000 四川省綿陽市涪城區(qū)二環(huán)路南段6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于冷鏡法極低露點快速測量的氣路系統(tǒng)，該方案包括有進氣口、不銹鋼進氣管道、測量腔、鏡面、制冷機、質(zhì)量流量控制器MFC、不銹鋼出氣管道和出氣口；鏡面設置在測量腔內(nèi)；鏡面通過制冷管路與設置在測量腔外的制冷機連接；不銹鋼進氣管道一端與進氣口連接，另一端與測量腔連通；不銹鋼出氣管道一端與出氣口連接，另一端與測量腔連通；質(zhì)量流量控制器MFC串聯(lián)安裝在出氣管道上。該方案可以避免由于MFC內(nèi)部容易存水導致內(nèi)表面材料緩慢釋放水分，影響測量速度和精度。同時通過電伴熱升溫，減少氣路管道內(nèi)壁材料吸附水份的含量，提高露點測量速度。