一種分體式差壓傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320028493.0 申請日 -
公開（公告）號 CN203011611U 公開（公告）日 2013-06-19
申請公布號 CN203011611U 申請公布日 2013-06-19
分類號 G01L13/06(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 俞永和 申請（專利權(quán)）人 北京瑞普三元儀表有限公司壓力儀表分公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱麗華
地址 100027 北京市朝陽區(qū)三元橋霞光里5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種分體式差壓傳感器，其包括有差壓芯片單元和靜壓芯片單元,所述的差壓芯片單元和靜壓芯片單元各為獨(dú)立的單元體芯片,其中：所述的差壓芯片單元中內(nèi)置有差壓硅片，并至少設(shè)有一對差壓供電引腳DPIn+、DPIn-和一對差壓輸出引腳DPout+、DPout-；所述的靜壓芯片單元內(nèi)置有靜壓硅片。通過靜壓芯片的基體，將差壓及靜壓芯片的供電和輸出引到外部。此設(shè)計(jì)簡化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，使得產(chǎn)品的制作及使用成本大大降低。