結(jié)電容參數(shù)測試電路、測試方法以及測試設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111239753.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114184925A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114184925A 申請公布日 2022-03-15
分類號 G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 耿霄雄;鐘鋒浩;胡江 申請（專利權(quán)）人 杭州長川科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 方道杰
地址 310051浙江省杭州市濱江區(qū)聚才路410號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種結(jié)電容參數(shù)測試電路、測試方法以及測試設(shè)備，其中，該測試電路中，第一隔直電容分別與阻抗測量單元的一端以及被測器件的柵極連接，被測器件測量開關(guān)分別與被測器件的源極與漏極連接，第二隔直電容分別與被測器件的源極以及阻抗測量單元的另一端連接；第一隔直電容泄放開關(guān)與第一隔直電容并聯(lián)于阻抗測量單元的一端與被測器件的柵極，第三開關(guān)的一端與第一隔直電容連接，另一端接地，第二隔直電容泄放開關(guān)與第二隔直電容并聯(lián)于阻抗測量單元的另一端與被測器件的源極，第五開關(guān)的一端與第二隔直電容連接，另一端接地。通過本申請，解決了電容恢復(fù)時間長導(dǎo)致的測試效率低的問題，縮短了電容恢復(fù)時間，提高了測試效率。