一種微波CVD法控制多晶金剛石晶粒尺寸的生長(zhǎng)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111224666.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113699588A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN113699588A 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類(lèi)號(hào) C30B28/14（2006.01）I;C30B29/04（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李慶利;甄西合;趙麗媛;徐悟生;劉暢;朱逢旭;劉得順;楊春暉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 天津本鉆科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超;劉瑞華
地址 300380天津市西青區(qū)中北鎮(zhèn)星光路27號(hào)數(shù)科園研發(fā)樓102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微波CVD法控制多晶金剛石晶粒尺寸的生長(zhǎng)方法，在沉積過(guò)程中，設(shè)有N組時(shí)間段，并在第一組時(shí)間段之后的每一組時(shí)間段內(nèi)連續(xù)地通入不同體積比的混合氣體；隨著時(shí)間段的增加，在第N組時(shí)間段后通入的所述混合氣體中的每一個(gè)氣體的體積比均高于在第N?1組時(shí)間段后通入的相應(yīng)氣體的體積比；且在第N組時(shí)間段后，基于所述混合氣體中每一個(gè)氣體的體積比持續(xù)通入所述混合氣體，直至生長(zhǎng)結(jié)束。本發(fā)明通過(guò)分時(shí)間段逐步提高碳源濃度和氧氣濃度，以階梯性地提高金剛石的形核率來(lái)控制金剛石晶粒尺寸的大小，從而提升金剛石膜的質(zhì)量；同時(shí)，還可階梯地提高金剛石膜的生長(zhǎng)速率，降低外延層的晶格缺陷，從而可減小生長(zhǎng)應(yīng)力，獲得完整無(wú)裂紋的金剛石膜。