晶圓片及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110389796.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113161868A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號(hào) CN113161868A 申請公布日 2021-07-23
分類號(hào) H01S5/187（2006.01）I;H01S5/20（2006.01）I;H01S5/34（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 韓春霞;楊旭;劉哲;周璇;黃蓓 申請（專利權(quán)）人 武漢仟目激光有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張濤
地址 430205湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)湯遜湖北路33號(hào)華工科技園·創(chuàng)新基地13棟1單元1層01號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶圓片的制作方法，包括S1，在襯底上依次生長N型分布式布拉格反射鏡層和P型分布式布拉格反射鏡層；S2，在襯底背離N型分布式布拉格反射鏡層的一側(cè)生長應(yīng)力平衡層；S3，在應(yīng)力平衡層上再制作金屬加厚層。還提供一種晶圓片，本體包括N型分布式布拉格反射鏡層以及P型分布式布拉格反射鏡層，本體靠近N型分布式布拉格反射鏡層的一側(cè)為N面，本體靠近P型分布式布拉格反射鏡層的一側(cè)為P面；于本體的N面生長應(yīng)力平衡層，并于應(yīng)力平衡層上制作金屬加厚層。本發(fā)明可以減小應(yīng)力而避免破片的風(fēng)險(xiǎn)，進(jìn)而提升了器件的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)制作的金屬加厚層一方面可以保護(hù)應(yīng)力平衡層，另一方面可以使N面金屬更加光滑平坦便于后續(xù)封裝。