分布反饋式面發(fā)射激光器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010674651.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111725701A | 公開（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111725701A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-29 |
| 分類號(hào) | H01S5/12(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蔡建新 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 武漢仟目激光有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 武漢仟目激光有限公司 |
| 地址 | 430205湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)湯遜湖北路33號(hào)華工科技園·創(chuàng)新基地13棟1單元1層01號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種分布反饋式面發(fā)射激光器，包括由上而下依次布設(shè)的襯底、中間層、接觸層以及金屬層，激光器還包括掩埋在中間層靠近所述接觸層的部分中的光柵層。還提供一種分布反饋式面發(fā)射激光器的制作方法，包括如下步驟：S1，由上而下依次布設(shè)襯底、上包層、上波導(dǎo)層、有源層、下波導(dǎo)層、下包層、接觸層以及金屬層；S2，在所述下包層中制作光柵層，或者是在所述下波導(dǎo)層中制作光柵層，或者是在所述下包層和所述下波導(dǎo)層之間制作光柵層。本發(fā)明通過將光柵層掩埋在中間層靠近接觸層的部分中，能夠完全保證接觸層不被損傷，使工藝處理可靠，容錯(cuò)率高，從而明顯有效地提高良率。?? |
