一種雙面晶圓外觀缺陷檢測(cè)機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120300156.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214347979U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214347979U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 楊勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州矩浪科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州言思嘉信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉巍
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路1號(hào)軟件大廈5號(hào)樓203（1）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種雙面晶圓外觀缺陷檢測(cè)機(jī)，該檢測(cè)機(jī)是一種多層結(jié)構(gòu)體，包括機(jī)架，所述機(jī)架上分別設(shè)置有A面Y軸運(yùn)動(dòng)模組、B面Y軸運(yùn)動(dòng)模組和B面X軸運(yùn)動(dòng)模組，所述A面Y軸運(yùn)動(dòng)模組上設(shè)置有A面X軸運(yùn)動(dòng)模組，所述A面X軸運(yùn)動(dòng)模組上設(shè)置有A面視覺(jué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述B面X軸運(yùn)動(dòng)模組上設(shè)置有B面視覺(jué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架上位于所述A面視覺(jué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)和所述B面視覺(jué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有傳輸裝置。本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型提供的檢測(cè)機(jī)可對(duì)晶圓的雙面同步進(jìn)行檢測(cè)，檢出率非常高，該設(shè)備具備各種報(bào)警管控功能，產(chǎn)線出現(xiàn)大規(guī)模品質(zhì)異常，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)改善制程，避免工廠不必要的損失，可以有效提高檢測(cè)效率，減少人工費(fèi)用的支出，有效降低次品率。